| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) |
| 권호 | 6권 2호, p.4745 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | GaN 증착에 사용되는 Modified Hydride VPE 공정의 열역학적 해석 |
| 초록 | 본 연구에서는 열역학 전산모사를 통해 Modified Hydride VPE 법을 이용한 GaN 증착공정을 해석하였다. 열역학 전산모사와 실제 실험을 통해 GaN 증착을 위한 최적의 조건을 도출하고자 하였으며, 성장시킨 GaN 박막을 XRD, PL, SEM 등을 이용하여 박막의 특성을 조사하였다. |
| 저자 | 서정찬, 최진식, 이관석, 윤덕선, 여석기, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
