학회 |
한국재료학회 |
학술대회 |
2012년 봄 (05/17 ~ 05/18, 무주덕유산리조트) |
권호 |
18권 1호 |
발표분야 |
E. 구조 재료(Structural Materials) |
제목 |
Sintered-RBSN공법을 이용한 질화규소 합성 |
초록 |
비산화물계 세라믹스의 대표적인 재료인 Si3N4를 합성 방법으로서 Sintered-RBSN (Reaction Bonded Silicon Nitride)공정을 연구하였다. 시작원료로 Si분말과 소결조제로 Al2O3 및 Y2O3를 첨가하였다. 소결조제는 Si3N4기준으로 각각 4wt.%, 6wt%. 첨가하였다. 혼합된 분말을 Φ30 금형을 사용하여 일축가압성형기로 1.5ton의 힘으로 30초간 가압하여 성형하였다. 반응가스로 수소가 5%포함된 수소 질소 혼합가스를 사용하였다. 질화반응은 1300℃에서 1시간 유지 후 1500℃까지 1℃/min로 승온하고 1500℃에서 다시 1시간 유지 후에 20℃/min로 냉각하였다. 질화 반응 후에 치밀한 소결체를 얻기 위해 후소결이 진행되었다. 후소결은 승온 냉각속도를 20℃/min로 1800℃에서 1시간동안 진행되었다. 그 결과 이론밀도가 96%인 치밀한 소결체를 얻었다. |
저자 |
김경아1, 민준원1, 송병무2, 고재웅3
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소속 |
1자동차부품(연), 2(주)원익쿼츠, 3세라믹스사업부 |
키워드 |
Sintered-RBSN; 질화규소
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E-Mail |
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