| 초록 |
광전소자의 전극으로 ITO가 증착된 유리기판이 현재 널리 사용되고 있으나 광전소자의 소형화, 경량화 그리고 유연화 연구가 진행됨에 따라 유리기판을 대체할 수 있는 플라스틱 필름을 기반으로 하는 유연기판 연구가 활발히 진행되고 있다. 플라스틱 기판으로 사용가능한 고분자 필름은 유리기판에 비하여 상대적으로 내열특성이 떨어져 현재 사용되고 있는 고온 고압에서의 스퍼터링 공정으로 플라스틱 필름위에 ITO를 증착하는데 제한성을 갖는다. 본 연구에서는 높은 광학 투명성과 치수안정성, 그리고 열 안정성을 가지고 있어 광전 소자의 기판으로 사용 가능성이 높은 PES필름을 이용하여 ITO 증착 유연기판을 제조하였다. ITO 증착 시 고온에 의한 열변형을 최소화하기 위하여 e-beam을 사용하여 ITO 증착을 시도하였으며 이에 따른 ITO 특성 저하를 개선하기 위하여 e-beam 증착조건이 ITO 특성에 미치는 영향을 고찰하였다. 연구결과, 증착환경의 산소분압, 기판의 온도, 증착속도 그리고 증착 후 열처리 조건에 따라 ITO 증착 PES 기판 광 투과 특성과 표면저항 특성이 달라짐을 확인하였다. |
