학회 한국화학공학회 학술대회 1995년 가을 권호 1권 2호, p.1249 발표분야 재료 제목 Si (Ⅲ) 기판 위에 3C - SiC (Ⅲ) 박막의 성장기구 초록 저자 남기석, 서영훈 소속 키워드 E-Mail 원문파일 초록 보기 목록보기