화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1995년 가을
권호 1권 2호, p.1249
발표분야 재료
제목 Si (Ⅲ) 기판 위에 3C - SiC (Ⅲ) 박막의 성장기구
초록
저자 남기석, 서영훈
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