화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2005년 가을 (10/28 ~ 10/29, 건국대학교)
권호 9권 2호
발표분야 정보,전자소재
제목 PDP 감광성 전극 Green Sheet의 제조 및 공정특성 평가
초록 AC-PDP(Plasma Display Panel)의 금속 전극은 배면 유리 기판의 Address 전극과 전면 유리 기판의 투명전극 위에 놓인 Bus 전극이 있다. Address 전극의 경우 현재 감광성 Ag paste를 이용하여 인쇄, 건조, 노광, 현상, 소성하는 공정을 거쳐 형성하고 있다. 이러한 방법은 Screen Print 공정시의 불균일성 뿐 아니라 Pattern된 전극의 소성 후 Edge Curl이 나타나는 문제점이 있다. 따라서 PDP 산업계에서는 PDP 공정 Cost의 절감 및 공정 수율의 증가를 위하여 감광성 Ag Paste를 감광성 Ag Green Sheet 재료로 변경하여 Screen Print 대신 Lamination을 하고 이를 Photolithography 공정을 통하여 PDP 전극을 형성하는 공정 변화의 필요성이 증대 되고 있다. 본 연구에서는 이를 위하여 감광성 Ag Slurry의 제조, 이를 이용한 Green Sheet의 제조 및 Green Sheet를 이용한 전극 형성공정에 대하여 조사를 하였다.
저자 김덕곤1, 박이순1, 허영준2, 김순학1, 장동규1, 최해윤1
소속 1경북대, 2첨단 디스플레이 제조공정 및 장비연구센터
키워드 PDP용 Adress전극; Green sheet; 사진식각법(photolithography)
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