| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) |
| 권호 | 6권 2호, p.4789 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Lift-off법을 이용한 Pt-RTD의 온도-저항 특성 연구 |
| 초록 | 본 연구에서는 lift-off 법을 이용한 RTD 센서를 제작하였다. 알루미나 기판 위에 양성감광제를 사용하여 serpentine형 패턴을 제작한 다음, Pt 박막을 DC-sputter를 이용하여 증착한다. 이 후 lift-off법을 이용하여 RTD 센서를 제작하였다. 제조된 소자 Pt 박막을 온도를 변화시키면서 열처리를 하였다. 이것을 전기적 저항특성에 대한 영향을 조사하였고, 온도-저항 특성을 조사하였다. 700도로 열처리를 하였을 때 가장 낮은 저항과 양질의 박막이 되었다. 그리고 저항값은 온도의 변화에 따라 선형적으로 변화였으며 TCR 계수는 3.38×103ppm/℃였다. |
| 저자 | 원종각, 김종성 |
| 소속 | 경원대 |
| 키워드 | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
