학회 | 한국화학공학회 |
학술대회 | 2011년 가을 (10/26 ~ 10/28, 송도컨벤시아) |
권호 | 17권 2호, p.1885 |
발표분야 | 재료 |
제목 | ZnO single crystal rod의 H2S에 대한 응답 |
초록 | 본 연구에서는 thermal evaporation법으로 성장시킨 ZnO 단결정 로드를 화학 가스센서 물질로 적용하였다. ZnO 단결정 로드의 에피성장을 위해 활성탄에 Zinc acetate(20 wt%)를 함침시킨 것을 전구물질로써 사용하였다. 온도(100,150,200 ℃)범위와 황화수소가스(10.2~51.0 ppmv)에 N2를 balance 가스로 사용하여 응답시험을 하였으며, 온도와 황화수소 농도에 대한 다양한 응답을 나타내었다. H2S에 대한 높은 응답은 150℃와 200℃에서 나타났으며, 이는 고온에서 ZnO의 높은 전기 전도성 때문이라 판단된다. 또한 100℃와 같은 낮은온도에서 황화수소를 ZnO 단결정 로드에 흡탈착 시켰을 때 비교적 낮은 전기 전도성을 가졌으나, 높은 흡착속도와 낮은 탈착 속도를 보였다. 그러므로 민감한 화학가스센서는 상온에서 높은 전기 전도성을 가져야 하며 적당한 온도에서 작동되어야 한다고 판단된다. |
저자 | 박노국, 박재영, 이태진, 민봉기 |
소속 | 영남대 |
키워드 | gas sensor |
원문파일 | 초록 보기 |