화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2011년 가을 (10/26 ~ 10/28, 송도컨벤시아)
권호 17권 2호, p.1885
발표분야 재료
제목 ZnO single crystal rod의 H2S에 대한 응답
초록 본 연구에서는 thermal evaporation법으로 성장시킨 ZnO 단결정 로드를 화학 가스센서 물질로 적용하였다. ZnO 단결정 로드의 에피성장을 위해 활성탄에 Zinc acetate(20 wt%)를 함침시킨 것을 전구물질로써 사용하였다. 온도(100,150,200 ℃)범위와 황화수소가스(10.2~51.0 ppmv)에 N2를 balance 가스로 사용하여 응답시험을 하였으며, 온도와 황화수소 농도에 대한 다양한 응답을 나타내었다. H2S에 대한 높은 응답은 150℃와 200℃에서 나타났으며, 이는 고온에서 ZnO의 높은 전기 전도성 때문이라 판단된다. 또한 100℃와 같은 낮은온도에서 황화수소를 ZnO 단결정 로드에 흡탈착 시켰을 때 비교적 낮은 전기 전도성을 가졌으나, 높은 흡착속도와 낮은 탈착 속도를 보였다. 그러므로 민감한 화학가스센서는 상온에서 높은 전기 전도성을 가져야 하며 적당한 온도에서 작동되어야 한다고 판단된다.
저자 박노국, 박재영, 이태진, 민봉기
소속 영남대
키워드 gas sensor
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원문파일 초록 보기