| 초록 |
최근에 고휘도의 백색 발광 소재와 고체 레이저에 응응하기 위한 희토류 복합체의 제조에 많은 관심이 쏠리고 있다. 본 연구에서는 라디오파 마그네트론 스퍼터링을 사용하여 사파이어 기판 위에 Eu3+와 Dy3+ 이온이 동시 도핑된 백색 형광체 박막을 성장시켜 그것의 구조와 광학 특성을 조사하였다. 형광체 박막은 증착 온도 100–400 °C에서 성장시킨 후에 870 °C에서 후 열처리 하여 증착 온도의 의존성을 규명하였으며, 300 °C에서 증착한 박막을 750–900 °C에서 후 열처리 하여 열처리 온도의 의존성을 조사하였다. XRD 실험을 통하여 구조 분석을 한 결과, 증착 온도와 열처리 온도에 관계없이 성장된 형광체 박막은 정방정계 구조를 가짐을 확인하였다. 광 여기 발광 측정을 통해 관측된 흡광 스펙트럼은 파장 232 nm에서 강한 흡광 파장을 보였고, 주 발광 스펙트럼은 Dy3+ 이온에 의한 570 nm의 황색 신호 이였으며, 이 이외에도 Eu3+ 이온에 의한 약한 세기의 612 nm 적색 발광 스펙트럼을 나타내었다. 증착 온도를 달리한 박막의 평균 투과도는 80 %이였으며, 열처리 온도를 달리한 박막의 평균 투과도는 82 %임을 알 수 있었다. |
