| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2011년 봄 (04/27 ~ 04/29, 창원컨벤션센터) |
| 권호 |
17권 1호, p.759 |
| 발표분야 |
재료 |
| 제목 |
Supercooled Liquid droplet에 의한 VO2 나노선 성장 및 전도도 조절을 통한 초민감도 화학센서 개발 |
| 초록 |
금속 산화물 나노 물질은 광전자소자, 센서, 에너지 저장 소자 등 많은 응용분야를 가지고 있다. 특희, 바나듐 산화물(VO2)은 68℃이상의 온도에서 절연체 특성이 금속 특성으로 바뀌는 특이한 현상(Insulator to metal transition)을 보이는데, 최근 이를 이용해 센서, 메모리 등 다양한 소자연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 스퍼터 방법으로 증착된 VOX 박막으로부터 VO2 화학 센서를 제작하였다. 또한 W과 V의 코스퍼터 방법을 통해 W 도핑된 나노선을 제조하였고 그 전이 온도 특성을 살펴보았다. 전자빔 조사 후 미세구조 및 전이 온도에는 큰 영향이 없었지만, 전도도가 2배 이상 증가하였다. 이를 통해 50℃이하의 저온에서 수소를 감지하였고 그민감도는 100배 이상으로 매우 우수하였다. 또한 W 도핑된 나노선은 약 10℃ 이상의 전이온도 감소를 보였고 향후 이를 통해 상온에서 작동하는 MIT 센서 제작 연구를 할 것 이다. |
| 저자 |
변지원1, 이상현2, 김명화3, 이병철4, 백정민2
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| 소속 |
1울산과학기술대, 2Radiation Instruments Research Division, 3Korea Atomic Energy Research Institute (KAERI), 4이화여자대 |
| 키워드 |
VO2 |
| E-Mail |
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| 원문파일 |
초록 보기 |
