화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2011년 가을 (11/02 ~ 11/04, 경원대학교)
권호 15권 2호
발표분야 태양광웨이퍼 슬러지로를 이용한 고부가 소재화 기술
제목 실리콘 웨이퍼 제조 공정에서 배출되는 슬러지의 고액분리기술
초록 태양전지용 웨이퍼 제조 공정에서 배출되는 슬러지에는 연마재인 SiC분말, Si잉곳에서 발생한 Si 분말 및 절삭유를 포함하고 있다. 태양광 산업의 발전에 따라 이러한 슬러지의 양은 증가하고 있는 반면 이에 대한 효과적인 재활용기술 부재로 비용을 들여 폐기하고 있는 실정이다. 슬러지는 고점성의 특징을 가지고 있으며, 다양한 불순물이 포함하고 있어 이에 대한 정제가 어려우나, SiC, Si, 절삭유 등의 유가물질을 다량 함유하고 있어 이를 적절한 기술로 재활용하여 부가가치를 창출할 수 있을 것으로 판단된다. 이에 본 발표에서는 재활용기술의 첫단계로서, 슬러지 배출공정 특성과 슬러지의 물성을 고려한 효율적인 고액분리기술 및 공정 개발 대한 진행현황과 나아가 정제된 각 성분의 고부가화 방향에 대하여 알아보고자 한다
저자 주찬국
소속 (주)비아이티범우(연)
키워드 슬러지; 고액분리공정; 고액분리기술; 실리콘 탄화규소; 절삭유
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