| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2009년 가을 (10/15 ~ 10/16, 서울산업대학교 내 서울테크노파크) |
| 권호 | 13권 2호 |
| 발표분야 | 교육-기능성 나노소재 개발을 위한 기기분석 원리 |
| 제목 | SEM의 원리 및 활용 |
| 초록 | 주사전자현미경(scanning electron microscope, SEM)은 전자빔을 시료에 주사하면서 시료로부터 방출되는 전자신호들을 검출해 시료표면의 미세구조를 관찰할 수 있는 장비이다. 최근 전자광학시스템의 개선과 신호처리 시스템의 개선으로 분해능이 크게 향상되어 일반적으로 TEM 분석영역으로 여겨지던 나노미터영역에서의 분석이 가능해졌다. 따라서 시편의 준비, 현미경 조작 등이 TEM에 비해 간단한 SEM이 최근 나노소재연구영역에서 큰 관심을 모으고 있다. 또한 SEM은 표면 미세구조 뿐만아니라 시료로부터 다양한 정보를 얻어낼 수 있는 종합적인 분석장비이기도 하다. 본 강연에서는 이러한 SEM의 원리와 활용을 다루도록 한다. |
| 저자 | 양철웅 |
| 소속 | 성균관대 |
| 키워드 | SEM |
