| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2022년 봄 (04/20 ~ 04/23, 제주국제컨벤션센터) |
| 권호 | 28권 1호 |
| 발표분야 | [주제 3] 미세먼지 |
| 제목 | 암모니아 직접 연소를 통한 배가스 특성(Characteristics of flue gas using direct combustion of Ammonia) |
| 초록 | 현재 반도체 공정에서 발생하는 다양한 by-product 및 미사용 가스가 배출되고 있으며, 오염물질을 함유한 배기는 일반적으로 유기배기, PFC 배기, 산배기, 알칼리 배기, 열배기, 캐비넷 배기등으로 분류하여 각각의 배기 특성에 맞는 처리장치를 통해 정화 후 대기로 방출하고 있다. 유기배기 물질로서 VOCs(Volatile Organic Compounds)는 산소 함유 탄화수소, 유황 함유계 탄화수소 및 휘발성탄화수소를 총칭하는 물질이며, 알칼리 배기의 주요성분은 암모니아(NH3), TMAH(TetraMethylAmmoniumHydroxide)등이 있다. 본 연구의 목적은 연소로의 일정온도를 유지시켜 알칼리 배기 주요 성분인 암모니아 연소특성을 파악하고 NOX 저감을 파악하는 것이다. 실험 변수로는 연소기 반응온도와 ER (Equivalence Ratio)로 배가스 특성을 살펴보았다. 실험 결과 암모니아 ER 감소에 따라 산소의 농도는 감소하고 일산화탄소 및 일산화질소의 함량이 증가하는 것으로 파악되었다. 전체적으로 질소산화물의 농도는 반응온도가 증가하면서 산화반응이 활성화되어 감소하는 경향을 나타내었다. 반응기 후단에서 잔류 오염물질 분석(SIFT-MS)결과 모든 조건에서 암모니아는 0.1 ppm으로 검출되었다. |
| 저자 | 김종수 |
| 소속 | 한국생산기술(연) |
| 키워드 | 에너지 환경(Energy and Environment) |
| 원문파일 | 초록 보기 |
