화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2020년 가을 (11/18 ~ 11/20, 휘닉스 제주 섭지코지)
권호 26권 1호
발표분야 특별심포지엄1. 최신 용접/접합기술 및 용접재료 개발 동향 심포지엄-오거나이저: 김양도(부산대)
제목 유리 용접 동향 및 CO2 레이저를 이용한 쿼츠 용접
초록 유리 용접 동향 및 CO2 레이저를 이용한 쿼츠 용접

박창규
한국기계연구원 첨단생산장비본부 광응용기계연구실


최근 기존 쿼츠 유리가 사용되는 분야인 화학적 실험 도구, 건설 관련 기자재 산업뿐만 아니라 반도체 및 디스플레이 산업의 폭발적인 발전으로 인해 쿼츠의 수요가 기하급수적으로 증가하고 있다. 반도체 사업의 경우, 생산성 향상을 위해 Batch Type 공정의 공정 수가 증가하고 있으며 이를 위해 공정 중 웨이퍼를 위치할 수 있는 쿼츠 소재의 제품 수요가 증가하고 있다. 또한, 원자층 증착 기술 과 같이 기체가 활용되는 공정에 다양한 튜브 형태의 쿼츠 제품들이 사용되고 있으며 이러한 쿼츠 제품들의 크기 또한 증가하고 있다.

현재 쿼츠 제품은 토치의 화염을 이용하고 있으며 수작업으로 제작되고 있다. 여러 명의 작업자들이 좁은 공간에서 토치를 사용하여 작업하고 있기 때문에 항상 안정상의 문제가 있을 뿐만 아니라 장시간 연속 작업으로 인해 작업자들의 업무 피로도가 매우 높다. 쿼츠 용접 후 용접 결함이나 과도한 잔류 응력이 발생하고 균일한 용접 결과를 얻기 힘들다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 레이저를 이용하여 쿼츠 용접을 진행하였으며 용접 후 시편의 기계적 성질 및 물리적 성질을 평가하였다.
저자 박창규
소속 한국기계(연)
키워드 CO2 레이저; 쿼츠; 용접
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