| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2005년 봄 (05/13 ~ 05/14, 충남대학교) |
| 권호 | 9권 1호 |
| 발표분야 | 나노 |
| 제목 | Nanopatterning Using AFM Lithography and Its Applications: Development of Molecular Level Detector |
| 초록 | 전자회로를 구성하거나 센서 개발을 위해서는 특정한 형태의 패턴을 구성하고 기능성을 부여하는 기술이 필수적이다. 디바이스의 초소형화 경향은 기존의 마이크로미터 수준의 패턴화 기술을 벗어난 나노미터 패턴화 기술을 요구하고 있다. 본 연구에서는 AFM 양극산화법을 이용하여 2차원 또는 3차원 패턴을 구현하는 방법을 제안하였다. 이는 해당 패턴에 대한 전압-시간 시그널을 전도성 탐침(-)과 시편(+)사이에 인가하여 양극산화 반응을 유도하는 것이다. 이를 바탕으로 마이크로 크기의 표면에서의 특정 이온/분자 흡착을 전기적인 특성치 변화로 통한 검출을 시도하였다. 검출영역의 패턴을 섬형태의 mesa pattern을 이용하였다. 작은 표면적에서의 표면흡착이기에 빠른 흡착속도를 보이며, ppb 수준의 미량 검출에도 이용 가능함을 확인하였다. 또한 다중기능성을 부여하여 센서의 선택도를 부여하였으며, 패턴의 크기에 따른 최소검출농도를 낮출 수 있음을 확인하였다. |
| 저자 | 김영훈, 강성구, 최인희, 이정진, 이종협 |
| 소속 | 서울대 |
| 키워드 | 나노패턴; AFM; 센서; 중금속이온 |
