화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2014년 봄 (05/15 ~ 05/16, 창원컨벤션센터)
권호 20권 1호
발표분야 C. 에너지/환경 재료(Energy and Environmental Materials)
제목 Characteristic of AlN films with various Co content
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키워드 AlN films; Co content; metal-insulators; metal semiconductors; electronic devices
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