| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2017년 봄 (04/26 ~ 04/28, ICC 제주) |
| 권호 | 23권 1호, p.269 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | Photoacid generator의 중간체 합성 |
| 초록 | 광산발생제 (photoacid generator)는 빛에 의해 분해되어 산을 발생시키는 물질로서 ArF급 반도체를 제조하기 위해서는 이의 개발이 시급한 실정이다. 지금까지 개발된 광산발생제에는 음이온 변환 광산발생제와 양이온 변환 광산발생제가 있는데 이중에서도 음이온 변환 광산발생제가 좋은 효과를 보여 주고 있다. DFSA는 음이온변환 광산발생제를 합성하는 핵심적인 중간체인데 합성이 매우 어려워 가격이 매우 고가이다. 또한 최종 생성물에는 NaCl 등 무기염이 포함되어 있어 반도체 공정에 사용되는 광산발생제를 제조하기 위해서는 DFSA의 정제가 매우 중요하다. 본 연구에서는 광산 발생제의 핵심 중간체인 DFSA를 합성하는데 있어서 반응물의 몰 비 및 반응물 투입 방법 등 여러 가지 반응조건이 생성물의 수율에 미치는 영향을 살펴보았다. 반응의 진행은 1H NMR을 사용하여 확인하였다. 또한 DFSA와 NaCl의 혼합물로부터 DFSA를 선택적으로 추출하기 위한 실험을 수행하였다. 용제로는 물, 메탄올, 에탄올, 아세톤, 이소프로필알코올을 사용하였고 생성물의 순도는 에탄올을 내부표준물질로 사용하여 1H NMR로 측정하였고 무기 불순물은 ICP-OES 및 Ion Chromatography로 분석하였다. |
| 저자 | 양주희, 이철우 |
| 소속 | 한밭대 |
| 키워드 | 공정합성 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
