| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교) |
| 권호 | 5권 2호, p.4265 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 팔라디움 전기도금에서의 유기첨가제의 전기화학적 분석 및 특성에 관한 연구 |
| 초록 | 본 연구는 반도체용 팔라디움 전기도금에서 기능성 향상을 위해 첨가하는 유기첨가제의 성질을 결정하고 도금용액의 항구성을 유지하는 방법을 결정하기 위해 differentialpulse polarography, cyclic votammetry등의 전기화학적 측정법을 이용하여 첨가제의 반응메카니즘을 예측하고 첨가제가 미치는 도금표면에서의 물성을 AFM, X-ray 측정법으로조사하였다. |
| 저자 | 이진우, 주재백, 손태원, 백영호, 김중도 |
| 소속 | 홍익대 |
| 키워드 | Palladium; Electrodeposition; Additives; Roughness; Polarography |
| 원문파일 | 초록 보기 |
