화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2007년 가을 (11/02 ~ 11/03, 한경대학교)
권호 11권 2호
발표분야 무기재료
제목 PCVD 반응기를 이용한 TiO2 박막 코팅
초록 물질의 분산 능력과 안정성을 향상시키고 기계적 성질을 강화시키기 위해 박막 코팅이 이용되고 있다. 이산화티타늄 광촉매는 N형 반도체로서 자외선(400nm)을 받으면 전자(Electron), 전공대(Electron Hole)가 형성되어 강한 산화력을 가진 하이드록시 라티칼(-OH)과 슈퍼 옥사이드(O2)를 생성한다. 이 하이드록시 라디칼과 슈퍼 옥사이드가 유기 화합물을 산화 분해시켜 물과 탄산가스로 변화시킨다. TiO2 입자는 광분해 반응을 이용한 유기오염물 및 대기 오염물 제거에 활용될 수 있다. 본 연구에서는 회전하는 PCVD 반응기를 이용하여 입자위에 TiO2 박막을 코팅하였다. 코팅된 박막은 XRD, SEM, EDS등을 이용하여 특성을 분석하였다. TiO2 박막 코팅을 위한 전구체인 TTIP의 농도가 증가할수록 입자에 코팅된 박막의 성장 속도는 증가하였으며 반응기의 압력이 증가할수록 균일한 박막이 형성되었다.
저자 강진이, 김동주, 김교선
소속 강원대
키워드 입자 코팅; 플라즈마 기상 화학 증착 공정; TiO2 박막 코팅
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