| 초록 |
Titanium dioxide (TiO2) 박막은 우수한 화학적 안정적이며 높은 굴절률 특성을 갖고 있으며 강력한 산화력으로 친수성, 유기물 분해력, 자정작용과 같은 특성을 지니고 있다. 이러한 특성들 중에서 친수성 효과를 이용하여 개발된 유리 제품들이 개발되고 있고 이는 주로 자동차, 욕실 및 건축물의 창문 등에 이용되고 있다. RF-sputtering법으로 TiO2/Metal doped-TiO2/glass박막을 제조하고 특성을 평가하였다. Cr, Fe를 도핑한 Mosaic-target를 제조하여 증착하였다. 박막의 화학구조는 XPS를 이용하여 분석하였고 박막의 구조는 X-ray diffraction (XRD), SEM을 사용하여 분석하였으며 Band gap은 HR UV-VIS-NIR spectrophotometer을 사용하여 분석하였다. 친수성 평가는 상온에서 contact angle meter (Topcon-UVR 2)에 의해서 측정되었고, 친수 유지 능력은 암실에 오랫동안 유지하면서 접촉각을 측정하는 방법으로 평가하였다. Cr, Fe doping 양에 따라 TiO2의 결정이 변화되는 것이 관찰되었었다. UV조사에 따른 반응으로 대부분 1시간이내에 초친수성이 나타났고 친수유지특성은 TiO2/glass에 비해 9시간 이상 증가한 것으로 나타났다. |
