화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2001년 가을 (10/19 ~ 10/20, 한밭대학교)
권호 7권 2호, p.4939
발표분야 재료
제목 사파이어 기판의 방향성에 따른 GaN 박막의 광학적 특성분석
초록 본 연구에서는 기판의 방향성에 따라서 MOCVD법과 MHVPE법을 이용하여 성장된 GaN의 광학적 특성을 조사하였다.
저자 이관석, 여석기, 윤덕선, 도창주, 박진호
소속 영남대
키워드 Orientation; GaN
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