| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2007년 가을 (10/26 ~ 10/27, 한국과학기술원) |
| 권호 | 13권 2호, p.2276 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | ICP 반응기에서의 TiO2 박막 코팅 |
| 초록 | 본 연구에서는 ICP 반응기를 이용하여 TiO2 박막을 substrate에 코팅하였으며 공정 변수에 따른 박막 특성을 분석하였다. SEM, XRD, XPS, FTIR, Raman Spectrospcoy 등을 사용하여 박막의 특성을 평가하였다. TiO2 박막 코팅을 위한 전구체인 TTIP의 농도가 증가할수록 substrate에 코팅된 박막의 성장 속도는 증가하였다. |
| 저자 | 김동주, 강진이, 김교선 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | ICP 플라즈마 반응기; TiO2 박막 코팅 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
