| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1997년 가을 (10/24 ~ 10/25, 충남대학교) |
| 권호 | 3권 2호, p.3041 |
| 발표분야 | 이동현상 |
| 제목 | ECR 플라즈마 반응기 내에서의 전달현상 |
| 초록 | 본 연구에서는 플라즈마 에칭의 중요한 문제점 중의 하나인 radiation damage를 줄일 수 있는 것으로 알려진[4] 마이크로웨이브를 이용하여 전자 싸이클로트론 공명 현상을 일으키는 downstream 플라즈마 반응기를 연구의 대상으로 한다. 반응기 해석을 위하여 반응기 내의 유체의 흐름, 온도분포, 반응성분의 전달현상, 기상반응 및 표면반응을 동시에 고려할 수 있는 수학적 모델을 제시하며, 유한요소법에 근거하여 전산모사를 수행하는 프로그램을 개발하였다. 그리고, 수학적 모델의 타당성을 검증하기 위하여 반응기 압력, power, 반응기체 유량 및 반응기체의 구성과 같은 운전조건의 변화에 따라 반응기 성능변화를 실험에서 측정한 데이터와 비교하였다. |
| 저자 | 허진석, 신치범, 오수기 |
| 소속 | 아주대 |
| 키워드 | Plasma; ECR; FEM |
| 원문파일 | 초록 보기 |
