| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2020년 가을 (11/18 ~ 11/20, 휘닉스 제주 섭지코지) |
| 권호 |
26권 1호 |
| 발표분야 |
G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 |
Plasma Processing Characterization During Radio-Frequency PECVD of Diamond-Like Carbon Films on Stainless Steel |
| 초록 |
Diamond-Like Carbon (DLC) 박막은 내마모 특성이 뛰어나서 산업에서 금속이나 유리 표면의 처리에 널리 사용되고 있다. 특히 스테인레스 금속이나 유리 표면에 탄소가 함유된 플라즈마 가스를 기반으로 하는 DLC 코팅을 하면 일반적으로 기판과 박막의 응력 차이로 인해 DLC 박막의 박리가 일어난다는 것을 알았다. 결국 후막 DLC 코팅을 위해서는 DLC 증착 전에 적절한 버퍼 층 증착이 중요하다. 이 실험에서는 13.56 MHz의 고주파 플라즈마를 사용하여 약 180 nm 두께의 비정질 실리콘을 스테인레스 기판에 증착, 버퍼층으로 사용하였다. 그 후 고주파 C2H4/Ar 플라즈마로 DLC 박막을 증착할 수 있었다. 이 때 증착된 DLC 박막은 박리 현상이 없었다. 또한 광발광분석기를 이용하여 DLC 증착에 사용한 C2H4/Ar가스의 성분비와 플라즈마 파워 변화 (≤100 W)에 따른 발광 분석과 플라즈마 색온도 측정을 실시하였다. 이 발표에서는 실험실에서 실시한 13.56 MHz 기반의 고주파 C2H4/Ar 플라즈마로 증착된 DLC의 증착 속도, 탄소 성분비, 결정성 등을 함께 보고하고자 한다. |
| 저자 |
황덕호, 이제원, 정연욱, 박상혁, 박진표, 김희철, 조관식
|
| 소속 |
인제대 |
| 키워드 |
<P>RF plasma; DLC Coating; In-Situ Characterization; OES</P>
|
| E-Mail |
|
