| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2004년 가을 (11/05 ~ 11/05, 인하대학교) |
| 권호 |
10권 2호 |
| 발표분야 |
세라믹스 |
| 제목 |
RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 에피텍셜 BaTiO3 박막의 유전특성 |
| 초록 |
RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 SrTiO3 단결정 기판 위에 SrRuO3 박막을 하부 전극으로 에피텍셜하게 성장시킨 후 강유전체 BaTiO3 (BTO) 박막을 증착하였다. X-ray 분석을 통해 BTO 박막이 c-축으로 확인하였고 pole-figure를 통해 에피텍셜한 박막으로 성장한 것을 확인하였다. BTO 박막 위에 마이크론 단위의 상부전극을 Lift-off 법을 통해 패턴닝하여 circular patched 타입의 커패시터를 제작하였다. BTO 박막의 유전상수 1498, tan δ 0.08로 측정되었다. dc 전압에 따른 유전 상수의 의존성을 확인하기 위해 상온에서 1MHz에서 C-V를 측정하였다. 이 때 tunability가 걸어준 전압 ± 35 V 일 때 75%로 확인되었다. |
| 저자 |
현태선, 최시경
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| 소속 |
한국과학기술원 신소재공학과 |
| 키워드 |
BaTiO3; epitaxial thin film; tunability; circular-patched capacitor
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| E-Mail |
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