| 초록 |
용액 공정은 저렴한 가격, 간단한 공정으로 주목을 받고 있다. 또한, 용액 공정을 이용하면 대면적 디스플레이 소자를 만드는데 용이하다. 잉크젯 프린팅 기술을 이용하면 섀도우 마스크 없이 패턴을 간단하게 구현할 수 있으며, 물질의 낭비를 줄일 수 있다. 이 실험에서, 우리는 비휘발성 메모리 소자를 모두 용액 공정을 이용하여 만들었으며, 전극으로 사용되는 소스/드레인 그리고 게이트 전극은 잉크젯 프린팅 기술을 이용하여 패턴을 구현하였다. 잉크젯 프린팅에 사용되는 잉크는 전도성 고분자인 PEDOT:PSS를 사용하였으며, 계면활성제를 사용해 PEDOT:PSS의 전기 전도도와 표면에 미치는 영향을 알아보았다. 메모리 저장층 형성을 위해 기존의 금속층 대신 용액에 분산된 유기 나노 입자를 이용하였고, 기판은 플라스틱 PES를 이용하였다. PES 기판을 이용하여 모든 공정을 용액으로 이용한 소자를 완성하게 되면 완성된 소자는 플렉서블하고 투명하게 된다. 이렇게 소자를 만들고, 우리는 실생활의 적용에 대한 적합성을 알아보기 위해 endurance 특성과 multiple bending 그리고 retention 특성을 확인하였다 |
