| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 가을 (11/05 ~ 11/05, 인하대학교) |
| 권호 | 10권 2호 |
| 발표분야 | 기타 |
| 제목 | 플라즈마 화학기상증착법으로 성장시킨 탄소나노튜브의 미세구조 분석 |
| 초록 | 플라즈마 화학기상증착법은 열 화학기상증착법에 비교하여 저온에서 탄소나튜브를 합성시킬 수 있는 장점이 있다. 본 실험에서는 철과 인바합금(Invar alloy) 두 종류의 촉매금속을 사용하였다. 철 촉매는 Si기판에 촉매층으로 Fe를 35nm 증착하였고, 인바합금촉매는 접착층으로 Cr을 100nm, 촉매층으로 인바합금을 10nm 증착 하였다. 플라즈마 화학기상증착법으로 탄소나노튜브를 성장 시켰으며 성장시간에 따른 성장상태를 주사전자현미경(SEM), 투과전자현미경(TEM), 주사투과전자현미경(STEM), 에너지분산 X-선 분광분석(EDS)으로 미세구조를 분석하였다. 인바합금촉매의 경우 탄소나노튜브는 다중벽으로 성장하였으며, 철 촉매금속의 경우, 성장멈춤 현상이 발견되었다. 미세구조 분석 결과로부터 탄소나노튜브의 성장 메커니즘을 규명하였다. 또한 인바합금촉매를 사용했을 경우에는 접착층과 실리콘 기판의 계면에서 규화크롬이 형성되었음을 확인하였다. |
| 저자 | 윤종성1, 윤존도1, 박종봉2, 박경수2 |
| 소속 | 1경남대, 2삼성종합기술원 |
| 키워드 | 탄소나노튜브; 플라즈마화학기상증착법; 미세구조분석 |
