화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2016년 가을 (11/16 ~ 11/18, 경주 현대호텔)
권호 22권 2호
발표분야 E. 환경/센서 재료 분과
제목 탄소나노튜브-금속 산화물을 적용한 반도체식 가스 센서 특성 평가
초록 탄소나노튜브는 육각형 고리로 연결된 탄소들이 긴 원통 모양을 이루는 탄소 기반 나노 소재이다. 탄소나노튜브는 탄소 동소체인 그라파이트, 다이아몬드, 플러렌 보다 밀도가 낮고, 길이가 길며 뛰어난 기계적 강도, 전기전도도, 열전도도를 지니고 있다. 이러한 우수한 특성을 때문에 탄소나노튜브는 나노복합재료 분야에서 활발히 연구되어지고 있다. 본 연구에서는 가스 센서로서의 특성 향상을 극대화할 수 있는 탄소나노튜브-산화물 반도체 복합체를 합성하여 주사전자현미경 (SEM), 투과전자현미경 (TEM), X-선 회절분석법 (XRD) 등의 분석을 통하여 재료의 구조 분석을 하였다. 스퍼터를 이용하여 금속 전극 증착 후 가스 센서 소자를 제작하여, 유해성 가스 센서 특성을 평가하였다.
저자 김현우, 권용중, 최명식, 강성용, 방재훈
소속 한양대
키워드 탄소나노튜브; 금속 산화물; 반도체; 가스 센서
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