| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2009년 가을 (10/08 ~ 10/09, 광주과학기술원 오룡관) |
| 권호 |
34권 2호 |
| 발표분야 |
기능성 고분자 |
| 제목 |
DC Sputtering에 의한 Sn 박막의 광학적 특성 |
| 초록 |
Metallic Decoration film에 사용 될 수 있는 Sn박막을 직류 스퍼터링법에 의해 Acrylic film 위에 증착하여 증착특성 및 광학적 특성을 관찰하였다. Sn박막은 실험조건은 Ar 유량을 5~20sccm, 성막중 진공도는 5~50 mtorr이며 스퍼터전력 20~30Wat이였다. 제조된 Sn 박막의 두께는 surface profiler를 이용하여 측정하였으며, 가시광 영역에서의 광투과율은 UV-Visible spectrophotometer를 이용하여 가시광 영역대인 550 nm 파장을 기준으로 하였다. 미세구조 관찰을 위하여 박막의 표면을 주사전자현미경 (SEM)을 사용하여 관찰 하였다. 증착 압력이 증가할수록 성막속도는 감소 하였고 Grain size가 감소 하면서 광투과율은 4.02~90.67%로 증가하였다. 이는 압력이 증가함에 따라 가스의 산란에 의한 스퍼터링 에너지가 낮아지기 때문으로 보인다. 또한 공정 중Ar 유량이 증가 할수록 성막속도는 증가 하였지만grain 사이즈는 작아지며 그에 따라 광투과율은 증가하는 경향을 보였다. 이것은 Ar 유량이 증가함에 따라 타겟이 Ar중성원자 또는 이온들과 충돌할 기회가 커지기 때문으로 보인다. |
| 저자 |
서동범1, 유기문1, 김진우2, 신홍철2, 이민호2, 김형곤2, 최치훈3, 이춘수3, 전호탁3, 정우철3, 김성룡1
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| 소속 |
1충주대, 2LG하우시스, 3현대자동차 |
| 키워드 |
DC Sputtering; Sn; Optical characteristics
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