| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2019년 가을 (10/30 ~ 11/01, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 | 23권 2호 |
| 발표분야 | 포스터_화학공정 |
| 제목 | 크립톤 등 레어 가스 내 불순물 정제 및 양산화 기술 개발 |
| 초록 | 반도체 3D NAND 공정에서 10nm미만의 기술과 Vertical 고집적화를 구현하기 위해 Kr 및 Xe과 같은 rare gas의 고순도 사용이 폭발적으로 증가하고 있다. Kr의 경우 공기 중 함유량이 1.1ppm에 불과하고, ASU플랜트를 통해서만 대기 중 포집이 가능한 탓에 가격이 높고, 반도체 공정의 지속적인 발전으로 rare gas의 가격은 더욱 더 상승하고 있는 상황이다. ASU로 포집 된 rare gas는 저순도 상태로, 반도체 공정에서 사용하기 위해선 고순도 정제가 필요하다. Crude rare gas를 반도체 공정 수준의 고순도로 높이고, 경제성을 위해 N2, O2, CO2, H2O만을 선택적으로 정제하고자 한다. Kr 기술을 바탕으로, 특성이 유사한 다른 rare gas도 같은 방법을 적용할 수 있을 것으로 기대 된다. 본 연구로 rare gas 내 불순물 정제 및 양산화하여 고순도의 결과물을 얻어내고, 수입 물질의 무기화에 대응하기 위해, 고순도 가스 정제 기술의 국산화 방법을 연구하고 제시하고자 한다. 본 사업은 중소벤처기업부에서 지원하는 중소기업기술정보진흥원의 재원으로 수행된 2018년도 구매조건부 신제품개발사업 해외수요처 사업의 연구수행으로 인한 결과물임 (S2655715) |
| 저자 | 최승현1, 최호윤1, 김가해1, 김민선1, 서봉수1, 박규홍1, 이수출2, 김재창2 |
| 소속 | 1주식회사 에프알디, 2경북대 |
| 키워드 | Kr; Rare Gas; Purification; SemiConductor |
