화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2008년 봄 (04/23 ~ 04/25, 제주ICC)
권호 14권 1호, p.1195
발표분야 재료
제목 임프린트 리소그래피에 의한 세라믹 전구체 고분자 기반의 마이크로 채널의 제작 및 특성
초록 용매에 대한 내성과 고열에 대한 안정성을 갖는 새로운 광학 재료는 미세전자기계시스템과 같은 현대 공학기술에 다양한 응용을 할 수 있는 잠재력을 갖고 있다. 실리콘 카바이드는 초기 물질이 액체인 고분자로부터 유래되는 세라믹의 새로운 종류이다. 세라믹 전구체 고분자의 사용 중 주된 장점은 작고 정교한 구조의 제작에 관한 편리함이다. 이번 연구에서 비산화 세라믹 마이크로 채널의 제작에 관해 보고하였다. 유리표면의 세라믹 전구체 고분자 층은 자외선에 의해 가교가 되고 완벽한 교차결함을 위해 열가교가 이어지며 그 후 투명하고 용매에 내성을 갖는 마이크로 채널이 형성된다.
저자 정상희, 김동표
소속 충남대
키워드 세라믹; 고분자; 마이크로 채널
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