| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2012년 가을 (10/31 ~ 11/02, 대전컨벤션센터) |
| 권호 |
16권 2호 |
| 발표분야 |
포스터-환경.에너지 |
| 제목 |
저압 플라즈마를 이용한 PECVD 공정 부산물 처리 |
| 초록 |
반도체/LCD제조 과정에서 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정 중 챔버 내부의 잔류물을 제거하기 위해 사용되는 PFCs(perfluorocompounds)계열의 NF3는 대표적인 온실가스 이며, 공정 중에 발생된 입자부산물은 진공펌프 수명 단축의 주요인이다. 본 연구는 저압플라즈마를 이용하여 PECVD 공정에서 배출되는 NF3 및 SiO2 입자부산물을 대상으로 공정의 청정화 및 진공펌프 수명 향상을 목표로 한다. FTIR(Fourier Transform Infrared Spectroscopy)을 사용하여 NF3의 분해율 및 생성물의 성분을 파악했으며, SEM(Scanning Electron Microscope)을 통해 플라즈마 처리 전후의 입자 부산물 형상을 비교하였다. 또한, laser scattering 기법을 사용하여 각 공정 구간에서 발생하는 입자부산물을 실시간으로 관찰하였다. 본 연구를 통해 저압 플라즈마 사용에 의해 NF3 및 입자부산물 양이 현저히 감소함을 확인하였으며, 효율적인 처리를 위한 플라즈마 구동 구간을 제시하였다. |
| 저자 |
유훈아1, 신원규1, 허민2, 강우석2, 송영훈2, 이재옥2
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| 소속 |
1충남대, 2한국기계(연) |
| 키워드 |
저압 플라즈마; 온실가스 처리; 진공펌프 수명 연장
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