| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2016년 가을 (10/26 ~ 10/28, 제주국제컨벤션센터(ICCJEJU)) |
| 권호 |
20권 2호 |
| 발표분야 |
환경에너지_포스터 |
| 제목 |
감압단계에서 활성탄에 대한 CF4의 탈착 특성 연구 |
| 초록 |
지구 온난화의 주범 중 Non-CO2인 CF4 가스는 반도체 제조공정에서 광범위하게 사용되고 있다. PFCs는 대부분 비활성 기체로 오존층을 파괴하지 않으며 화학적, 물리적으로 안정성이 높아 대기 중에 오랫동안 체류한다. 이는 지구의 복사에너지를 흡수하여 매우 높은 온난화지수를 가진다. PFCs의 제거기술로는 열 분해법과 저압 플라즈마를 이용한 분해법 등이 있으나 저농도의 PFCs에 바로 적용하기에는 많은 어려움이 있다. 연소 전 PFCs의 회수가 먼저 선행되어야 한다. 본 연구에서는 CF4를 적정농축하기 위하여 활성탄 흡착을 이용한 공정설계에 필요한 기초 자료를 얻고자 하였으며 특히, PSA공정의 필수적으로 포함되는 감압단계에서 CF4의 탈착 특성을 해석하는데 중점을 두었다. 또한 여러가지 등온선을 비교하여 연속공정에 적용하기 적합한 흡착평형식을 알아보았다. 흡착탑에서의 파과곡선, 감압 및 퍼지 시간에 따른 탈착곡선, 질소퍼지와 진공탈착에서의 CF4 농도변화를 관찰하였다. |
| 저자 |
장현성, 김원식, 조동우, 정태성, 박종기, 박종호
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| 소속 |
한국에너지기술(연) |
| 키워드 |
PFCs(CF4); 활성탄; 흡착탈착동특성
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| E-Mail |
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