화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교)
권호 5권 1호, p.1905
발표분야 재료
제목 졸-겔법에 의한 (Pb, La)TiO3 박막 제조 및 특성
초록 최근 적외선 감지소자에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 적외선 감지소자는 군사, 의료, 산업, 메모리 소자, 센서 등 많은 분야에 응용되고 있으며 계속 확대되고 있는 추세이다.
PLT 박막은 초전특성을 갖는 대표적인 강유전체 재료로 적외선이 강유전체 표면에 도달할 때 표면에서의 분역구조가 변하는데 이를 이용하면 센서로 응용 가능하다.본 연구에서는 적외선 감지막으로 사용될 수 있는 PLT 박막을 CVD, Sputtering에 비해 강유전체 합성시의 복잡한 조성비 조절이 용이하며, 고가의 장비가 필요하지 않고, 대면적의 박막을 짧은 시간에 쉽게 얻을 수 있는 장점을 지닌 졸-겔법으로 제조하여 박막 특성을 고찰하고자 한다.
저자 임동규
소속 경원대
키워드 sol-gel; PLT; 초전박막
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