| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
1998년 봄 (04/24 ~ 04/25, KOEX) |
| 권호 |
4권 1호, p.1333 |
| 발표분야 |
이동현상 |
| 제목 |
MOCVD 반응기에서 ZnO:Zn 박막의 증착특성에 관한 연구 |
| 초록 |
본 연구에서는 LPMOCVD(Low Pressure Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) 반응기를 제작하여 박막 형광체를 제조하는 실험을 수행하였다. 이와 더불어 반응기 내에서 일어나는 반응물의 이동현상에 대한 전산모사를 통하여 CVD의 단점으로 지목되어온 복잡한 공정변수를 보다 줄이려는 시도를 하였다. 이를 위하여 본 연구에서는 유한요소법에 근거한 POLYFLOW 를 활용하여 전산모사를 수행하였다. 이와 같은 CVD반응기의 모델링 및 모사는 증착속도 및 박막의 균질도의 예측을 가능하게 할 것이다.
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| 저자 |
박일우, 윤도영, 전병수, 유재수, 이종덕
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| 소속 |
광운대 |
| 키워드 |
MOCVD; ZnO:Zn; FED; POLYFLOW; 증착
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| E-Mail |
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| 원문파일 |
초록 보기 |
