| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2012년 가을 (10/11 ~ 10/12, 창원컨벤션센터) |
| 권호 |
37권 2호 |
| 발표분야 |
기능성 고분자 |
| 제목 |
이광자 스테레오리소그래피법으로 제작된 자성입자를 포함한 구동형 3D 마이크로구조체 |
| 초록 |
이광자 중합에 의한 스테레오리소그래피 공정은 높은 해상도를 가진 3D 미세구조를 직접 제작할 수 있다는 장점이 있다. 또한 이 방법은 다양한 광패턴용 기능성 레진을 이용하여 미세 구조체를 만들 수 있고, 얻어진 구조체의 표면을 개질함으로써 광학적/전기적 특성을 가진 다양한 기능성 마이크로 구조체 제작이 가능하다. 본 연구에서는 광패턴이 가능하고 미세구조 제작 후 고강도의 특성을 가진 SU8 레진에 산화철 나노입자를 혼합하여 3D 초미세 패턴을 구현하고자 시도하였다. 이를 위하여 SU8 레진에 혼합이 가능한 산화철 나노입자는 Stober 공정에 의해 실레인으로 표면을 개질한 후 에폭시 기능기를 그 위에 연결시킴으로써 얻을 수 있었다. 이를 이용하여 펨토초 레이저 시스템상에서 이광자 중합법에 의하여 3D 미세구조를 성공적으로 제작할 수 있었으며, 얻어진 구조물은 외부 자기력에 의해 구동이 가능하여 앞으로 MEMS 소자를 제작하는데 유용한 기초자료가 될 것이다. |
| 저자 |
박진경1, 박진순1, Prem Prabhakaran1, 손용2, 하철우2, 양동열2, 이광섭1
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| 소속 |
1한남대, 2한국과학기술원 |
| 키워드 |
Two-Photon Stereolithography; 3D microstructures; Magnetic Particles
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| E-Mail |
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