화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2011년 봄 (05/26 ~ 05/27, 제주 휘닉스 아일랜드)
권호 17권 1호
발표분야 F. Display and optic Materials and processing(디스플레이 및 광 재료)
제목 선형 대향 타겟 스퍼터를 이용하여 제작한 IZTO 박막의 특성 연구
초록 본 연구는 선형 대향 타겟 스퍼터 (Linear facing target sputter: LFTS)를 이용하여 co-sputtering 공정에 의해 제작된 플렉시블 InZnSnO(IZTO) 투명전극의 특성 분석으로써, 공정 중 타겟과 기판 사이의 거리(Targets to Substrate Distance:TSD) 변화에 따른 전극의 전기적, 광학적, 구조적, 표면특성 및 기계적/전기적 안정성을 관찰하였다. 플렉시블 IZTO 투명전극 제작을 위해 ITO (In2O3:SnO=90:10 wt%)와 IZO (In2O3:ZnO=90:10 wt%) 타겟을 co-sputtering 공법을 이용하여 PET 기판위에 성막하였으며, ITO 인가 전류 DC 320 W, IZO 인가 전류 DC 300 W, 공정압력 0.3 mTorr, 가스 유입속도 Ar 20 sccm, 타겟과 타겟과의 거리(Target to Target Distance:(TTD) 65 mm로 유지한체 TSD 를 25 mm로부터 45 mm로 변화시켰다. 선형 대향 타겟 스퍼터 시스템으로 제작된 플렉시블 IZTO 투명전극의 전기적 특성 분석을 위해 four-point probe와 Hall measurment 장비를 사용하였으며, 투과도 분석을 위해 UV/Vis spectrometer를 이용하였다. 또한 기계적 응력 변화에 따른 전기적 안정성을 평가하기 위해 자체 제작한 Bending test 시스템을 이용하여 기판 구부림에 따른 저항의 변화를 측정하였다. TSD의 거리가 감소함에 따라 면저항과 비저항이 감소하는 것을 관찰하였으며 최적화된 25 mm TSD에서 23 ohm/sq.의 낮은 면저항과 550 nm 파장에서 80% 이상의 높은 투과율을 확보할 수 있었다. 또한 LFTS 시스템을 이용하여 열적 안정성이 낮은 PET 기판 위에 비정질의 구조의 IZTO 투명전극을 확보할 수 있었을 뿐만 아니라 LFTS의 저온 공정을 통하여 제작된 비정질 IZTO의 우수한 유연성으로 인해 10000 cycle 이상의 bending test시 초기 저항 값과 유사한 저항을 나타내었다.
저자 신현수, 김한기, 이주현
소속 경희대
키워드 선형 대향 타겟 스퍼터 시스템; IZTO; 투명 전극
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