| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2018년 봄 (05/16 ~ 05/18, 삼척 쏠비치 호텔&리조트) |
| 권호 | 24권 1호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료 분과 |
| 제목 | Direct CVD growth of graphene on three-dimensionally shaped dielectric substrates |
| 초록 | 단일층 또는 수 층의 그래핀을 대면적을 성장시키는 연구는 진행된 바 있지만, 삼차원의 유전체 기판에 그래핀을 직접 성장시키는 연구는 금속 촉매제의 전제조건에 따라 제한되었다. 본 연구에서는, 타켓 표면을 구리 촉매와 직접 접촉 또는 가까이 배치함으로써 3차원 패턴의 사파이어 기판 위에 그래핀 필름을 직접 CVD 방법을 통해 성장시키는 방법을 진행했다. 이러한 접근법을 통해, 센티미터 스케일의 복잡한 구조 위에 수 층의 그래핀 필름을 균일하게 성장시킬 수 있음을 SEM 측정 및 라만 분석을 통해 확인했다. 또한, ion-gel을 통해 게이트 전압을 인가함으로써 3차원 그래핀이 양극성의 FET로 활용될 수 있음을 확인했다. 최종적으로, 3차원 그래핀 FET 디바이스는 압력 및 터치 감지 장치의 역할이 가능하며, 3차원의 구조적 특성으로 감도가 효과적으로 향상되었음을 보였다. |
| 저자 | 신재혁, 김수한, 권순상, 박원일 |
| 소속 | 한양대 |
| 키워드 | 3차원 소재; 그래핀; FET 소자; 압력 및 터치 센서 |
