| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2017년 봄 (05/10 ~ 05/12, 광주 김대중컨벤센센터(Kimdaejung Convention Center)) |
| 권호 | 21권 1호 |
| 발표분야 | 환경에너지 |
| 제목 | 전자산업공정 폐가스처리를 위한 플라즈마 융합 스크러버 개발 |
| 초록 | 스크러버는 반도체, LCD, LED, Solar Cell 등 전자산업 공정에서 배출되는 PFCs를 포함한 유해/유독 폐가스를 친환경적으로 처리하는 시스템이다. NF3의 연소처리시 함유된 질소성분과 CF4 분해시 고온조건에 의해 다량의 NOx가 발생되고 있으며 PFCs 및 NF3 처리 시 부산물인 불산(HF)이 발생되므로 처리효율을 높일 필요성이 있다. 스크러버 기술개발에 대해서는 스크러버 제조 기업에서 전담하고 있으며 연구개발속도가 느리고, 얻어지는 성과 또한 노력대비 낮은 수준이다. 최근 Wafer 생산공정의 규모를 확대하려는 연구가 활발히 진행되고 있으며 이에 따라 스크러버의 처리용량도 증가할 것으로 예측되고 있어 처리효율, 에너지 사용량, NOx 저감 등에 대한 기술개발이 필요한 실정이다. 본 연구에서는 니켈합금 기반 용사코팅을 적용한 고내구성 챔버를 개발하여 공정의 경제성을 높이고자 하였으며 CFD를 적용한 플라즈마 연소모듈의 최적설계를 하고자 하였다. |
| 저자 | 정희숙, 오두영, 송형운 |
| 소속 | 고등기술(연) |
| 키워드 | 스크러버; 용사코팅; 내구성; CFD; 연소모듈 |
