| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2006년 봄 (05/19 ~ 05/20, 경상대학교 ) |
| 권호 | 12권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | Electrical properties of Pyrochlore Bi1-xZnxNb1.5O7 films deposited on PCB |
| 초록 | 휴대정보기기의 Embedded PCB 채용비율이 늘어나며 Embedded Passive 소자가운데 capacitor의 비중이 70%를 차지하고 있다. 이러한 시장 환경으로 부터 PCB에 Capacitor 를 내장하는 기술개발이 진행되고 있다. PCB의 foot print면적효율을 위하여 큰 용량밀도가 필요하며 고 유전율의 dielectric,박막타입의 개발이 요구된다. 상용되는 고유전재료는 대부분 높은 온도에서의 소성과정, 또는 높은 성막온도 등이 요구된다. 하지만 PCB Embedded에 적용하기 위해서는 PCB 공정온도 이하에서 capacitor 의 형성이 요구된다. 본 실험에서 검증된 Bi1-xZnxNb1.5O7 films은 상온에서 증착후 비교적 저온에서 열처리 함으로써 유전 특성이 구현되므로 이를 응용한 Embedded capacitor 구현이 가능할 것으로 예상된다. 본 실험에서는PCB상에 PLD방법을 이용하여 상온에서 Bi1-xZnxNb1.5O7 films을 성막 후 300℃이하의 열처리를 통하여 유전특성이 구현됨을 확인할 수 있다. 이 BZN films은 비정질이며 증착 온도와 분압 및 조성 변화에 따라 유전 특성의 변화가 관찰된다. |
| 저자 | 정형미, 손승현, 정율교 |
| 소속 | 삼성전기 중앙(연) |
| 키워드 | dielectric; PCB; embedded capacitor |
