| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2022년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 | 26권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-환경·에너지 |
| 제목 | 고순도 공업용수 polishing stage의 이온교환수지 성능평가에 관한 연구 |
| 초록 | 고순도 공업용수는 반도체공정에서 웨이퍼의 세척에 사용되며 극미량의 오염물만으로도 수율을 저하시킬 수 있기 때문에 고순도 공업용수 공정은 이러한 오염을 제거하고 제어해야 한다. 이온교환 공정은 이러한 고순도 공업용수 공정의 가장 마지막에 위치해 있으며 이에 따라 공정에 사용되는 이온교환수지의 경우 기타 공정에 비해 매우 엄격한 성능평가를 통하여 사용해야만 한다. 고순도 공업용수에 사용하는 이온교환수지는 재생을 고려하지 않는다. 또한 정적 및 동적 용출시험을 통하여 미립자 및 금속의 용출을 평가하며 이온교환수지의 성능 또한 같이 평가한다. 파손되기 쉬운 수지의 특성을 고려하여 성능평가 중 수지의 취급방법을 다루었으며 유기물에 대한 용출 역시 고려하여 고순도 공업용수 최종 단계의 공정에 대한 성능평가법을 도출하였다. |
| 저자 | 방우혁, 이나래, 박승민, 박찬규 |
| 소속 | 한국산업기술시험원 |
| 키워드 | 고순도 공업용수; 이온교환수지; 용출시험; 미립자; 성능평가 |
