| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2017년 가을 (11/15 ~ 11/17, 경주 현대호텔) |
| 권호 |
23권 2호 |
| 발표분야 |
G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 |
마그네트론 Co-sputtering을 이용한 TiAlN/Cu Hardcoating 박막의 기계적 특성 연구 |
| 초록 |
Hardcoating 박막은 초고경도 특성을 바탕으로 절삭공구 및 고속도강에 널리 이용되어 왔다. 특히 TiAlN 박막은 높은 경도와 내마모성, 내산화성의 장점을 가지고 있다. 하지만 산업의 발전에 따라 다양한 다기능성 박막의 필요성이 꾸준히 제기되고 있으며, 이에 따라 다양한 원소들을 이용하여 multi-component 박막들이 연구, 개발되고 있다. 본 연구에서는 TiAlN/Cu 박막을 Co-sputtering 공정을 이용하여 증착하였으며, Cu content에 따른 박막의 물성 변화에 이 연구의 중점을 두었다. 박막의 두께 및 morphology를 확인하기 위해 Scanning Electron Microscope(SEM)을 이용하여 분석하였으며, X-ray Diffraction(XRD) 및 Electron Probe X-ray microanalyzer(EPMA)를 이용하여 박막의 조성 및 결정성을 확인하였다. 또한 Nano-indentation, Scratch test를 통해 박막의 경도, 접착력 등의 기계적 물성을 측정하였으며, 박막의 마찰특성을 평가하기 위해 Wear rate 및 Friction coefficient를 측정하였다. |
| 저자 |
이명섭1, 강경은1, 정창욱1, 김치호1, 김현동2, 박인욱2, 김양도1
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| 소속 |
1부산대, 2한국생산기술(연) |
| 키워드 |
hardcoating; TiAlN; tribology; sputtering
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| E-Mail |
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