| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2012년 봄 (04/25 ~ 04/27, 제주 ICC) |
| 권호 |
18권 1호, p.1362 |
| 발표분야 |
환경 |
| 제목 |
폐 SF6 gas를 농축 및 회수를 위한 흡착-분리막 혼성시스템 개발 |
| 초록 |
온실가스 중 하나인 SF6는 중전기 분야 및 반도체, LCD 제조 공정에서 주로 사용되고 있으며 오존층 파괴물질인 CFCs 및 PCBs 대체물질로 개발되어 사용되었다. SF6는 지구 온난화지수가 23600로 지구 온난화에 미치는 영향이 큰 물질로써 교토의정서에 의해 국제적인 규제 대상물질로 규정되어 이에 대한 제어기술이 필요하다. 현재 사용되고 있는 LCD 제조 공정상에 배출되는 저 농도에 대한 SF6 회수하여 농축 및 재이용하기 위한 기초 연구로써 흡착-분리막 혼성시스템 운전연구를 수행하였다. 흡착제로는 활성탄 기반의 SPAC과 BAC를 사용하였고, 분리막으로는 폴리설폰(PSf)지지체에 폴리디메틸실록산(PDMS)가 코팅된 중공사형태의 복합막을 사용하였다. VSA(Vacuum swing adsorption)방법으로 흡착을 진행하였고, 이에 따른 흡착성능을 알아보기 위해 SF6/N2 가스의 유량 및 농도에 대하여 파과 실험을 수행하였으며, 분리막의 분리 성능을 평가하기 위해 SF6 및 N2등, 단일 가스에 대한 기체 투과도 및 선택도를 측정하였고, Stage cut 및 유입 농도에 따라 분리막의 농축도 및 회수율을 분석하였다. 이를 기반으로 0.1% 이하의 저농도의 SF6 를 포함한 SF6/N2 혼합가스를 사용하여 연속적으로 운전가능한 흡착-분리막 혼성농축시스템의 분리 농축 성능을 평가하였다. |
| 저자 |
박아름이1, 박호범2, 김범식1, 박유인1, 남승은1
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| 소속 |
1한국화학(연), 2한양대 |
| 키워드 |
SF6; Hybrid; 온실가스; gas separation
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| E-Mail |
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| 원문파일 |
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