| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 봄 (04/24 ~ 04/25, KOEX) |
| 권호 | 4권 1호, p.917 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | SrTiO3 유기금속화학증착용 Sr전구체에 대한 연구 |
| 초록 | SrTiO3 유기금속화학증착용 Sr전구체중, Sr(tmhd)2-adduct를 합성하고, 이를 TGA, NMR, QMS를 이용하여, 전구체의 열적 안정성과 화학적 특성을 확인하였다. adduct가tetraen인 경우가 가장 적합한 전구체의 특성을 보였으며, 이에 대하여, Ti(i-OPr)2(tmhd)2를 Ti 전구체로 사용하여, 열역하적 계산을 하였다. 계산 결과, TiN등의 성분이 생기나, 과량의 산소를 공급시, 안정된 SrTiO3상을 형성함을 확인하였다. |
| 저자 | 이정현, 박만영, 이시우 |
| 소속 | 포항공대 화학공학과 |
| 키워드 | MOCVD; Sr 전구체; SrTiO3 |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
