| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2017년 봄 (05/10 ~ 05/12, 광주 김대중컨벤센센터(Kimdaejung Convention Center)) |
| 권호 |
21권 1호 |
| 발표분야 |
무기재료 |
| 제목 |
잉크젯 프린팅용 Zn(O,S) 잉크제조 및 TFT 특성평가 |
| 초록 |
잉크젯 프린팅공정은 박막 트랜지스터를 제조하는 대표적인 저비용 생산 기술이다. 잉크젯 프린팅 공정은 Active layer 및 소스&드레인을 직접 증착할 수 있으며 Active layer의 접점을 손쉽게 형성할 수 있어 제조 공정을 단순화 할 수 있다. 또한 화학적 에칭등 기판에 손상을 줄 수 있는 공정을 배제할 수 있어 차세대 제품에 적용이 가능한 장점을 가지고 있다. 박막 트랜지스터의 핵심역할을 하는 반도체층은 주로 무기물 계역의 화합물 반도체를 이용하고 있으며 대표적인 반도체는 ZnO를 사용한다. ZnO의 경우 넓은 밴드겝(3.4eV)으로 인해 투명한 특성을 지니며 낮은 온도에서 성막해도 높은 이동도를 가지는 장점 때문에 많이 사용되고 있다. 본 연구에서는 ZnO에 불순물인 S를 도핑함으로써 전하 농도 전기전도도 및 전하 농토를 높여 주어 전기적 특성을 좀 더 향상 시킬 수 있는 잉크를 제조하였다. 또한 박막의 성장속도 및 온도조절을 통해 두께 제어 및 입자크기 조절에 용의한 CFR방법을 이용하여 잉크특성을 조절하였으며 제조된 잉크는 잉크젯 프린팅을 통해 박막트렌지스터로서 특성을 테스트하였다. |
| 저자 |
전호영, 하철호, 박도휘, 이언주, 류시옥
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| 소속 |
영남대 |
| 키워드 |
Inkjet; Zn(O; S); Ink; TFT
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