화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2017년 봄 (04/26 ~ 04/28, ICC 제주)
권호 23권 1호, p.834
발표분야 이동현상
제목 Fabrication of NOA Microfluidic Devices Based on Sequential Replica Molding
초록 Polydimethylsiloxane (PDMS)로 제작되는 미세유체 소자는 다양한 미세유체 응용분야에서 가장 많이 사용되고 있지만, 표면개질시 지속시간이 짧고, 유기용매 하에서의 팽윤(swelling) 현상이 나타나며, 높은 압력이 가해졌을 때 채널이 변형(deformation) 될 수 있다는 단점을 가지고 있다. 이러한 단점을 극복하기 위해 Norland Optical Adhesive (NOA)로 만들어진 소자가 최근 많은 주목을 받고 있다. 본 연구에서는 특수한 음각 웨이퍼의 제작이 필요하며, 웨이퍼에 손상을 주기 쉬운 기존의 NOA 소자 제작법 대신 기존 양각 웨이퍼를 손상 없이 사용할 수 있는 새로운 NOA 미세유체 소자 제작법을 제시하였다. 또한 제작된 소자를 통해 유중수 액적(oil-in-water droplet) 생성과 유기용매를 이용한 미세유체 공정을 진행함으로써 기존 제작법으로 만들어진 소자와 동일한 기능을 수행하는 것을 확인하였다.
저자 노윤호, 문현준, 심재환, 정현욱, 봉기완
소속 고려대
키워드 이동현상
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원문파일 초록 보기