학회 | 한국화학공학회 |
학술대회 | 2017년 봄 (04/26 ~ 04/28, ICC 제주) |
권호 | 23권 1호, p.834 |
발표분야 | 이동현상 |
제목 | Fabrication of NOA Microfluidic Devices Based on Sequential Replica Molding |
초록 | Polydimethylsiloxane (PDMS)로 제작되는 미세유체 소자는 다양한 미세유체 응용분야에서 가장 많이 사용되고 있지만, 표면개질시 지속시간이 짧고, 유기용매 하에서의 팽윤(swelling) 현상이 나타나며, 높은 압력이 가해졌을 때 채널이 변형(deformation) 될 수 있다는 단점을 가지고 있다. 이러한 단점을 극복하기 위해 Norland Optical Adhesive (NOA)로 만들어진 소자가 최근 많은 주목을 받고 있다. 본 연구에서는 특수한 음각 웨이퍼의 제작이 필요하며, 웨이퍼에 손상을 주기 쉬운 기존의 NOA 소자 제작법 대신 기존 양각 웨이퍼를 손상 없이 사용할 수 있는 새로운 NOA 미세유체 소자 제작법을 제시하였다. 또한 제작된 소자를 통해 유중수 액적(oil-in-water droplet) 생성과 유기용매를 이용한 미세유체 공정을 진행함으로써 기존 제작법으로 만들어진 소자와 동일한 기능을 수행하는 것을 확인하였다. |
저자 | 노윤호, 문현준, 심재환, 정현욱, 봉기완 |
소속 | 고려대 |
키워드 | 이동현상 |
원문파일 | 초록 보기 |