| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2006년 봄 (04/20 ~ 04/21, 대구 인터불고 호텔) |
| 권호 | 12권 1호, p.967 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 광촉매 TiO2 제조를 위하여 TDMAT와 Ethyle acetate를 이용한 ALD 공정 |
| 초록 | 광촉매 TiO2 제조를 위하여 TDMAT와 Ethyle acetate를 이용한 ALD 공정을 진행하였다. 공정압력은 2 torr 였으며, 증착은 125 ~ 250℃ 에서 진행되었다. 박막두께, 조성, 결정성 등은 Ellipsometer, XPS, AES, XRD를 통하여 살펴보았으며, 각 조건에서 제조된 TiO2를 이용하여 광촉매 특성을 비교하였다. |
| 저자 | 로자나, 김도형 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | TiO2; 광촉매; ALD |
| 원문파일 | 초록 보기 |
