| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2005년 가을 (11/10 ~ 11/11, 한양대학교) |
| 권호 | 11권 2호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | DC magnetron Sputter로 제조된 Pt 박막의 특성 |
| 초록 | DC magnetron Sputter를 이용하여 Pt를 ON-Si기판위에 Metal mask를 이용하여 20분, 30분 그리고 60분 증착하였다. Adhesion layer로는 Al2O3 박막을 E-beam evaporation을 이용하여 제조 하였다. 제조된 박막을 결정성 증진을 위해 공기 중에서 500℃, 600℃ 그리고 700℃에서 각각 1시간 열처리 하였다. 박막의 결정성 및 결정구조는 X-선 회절 분석기를 사용하였고, 표면 특성은 주사전자현미경을 이용하였다. Heater 저항과 발열 테스트는 multimeter와 적외선 온도계를 사용하였다. 증착시간과 열처리 온도가 증가함에 따라 Pt 박막은 균일한 결정 성장이 나타났고, 저항은 감소하였다. heater 발열 또한 증착시간과 열처리 온도가 증가함에 따라 높게 나타났다. |
| 저자 | 박진성, 나동명 |
| 소속 | 조선대 |
| 키워드 | Pt thin film; heater; resistance |
