| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2010년 가을 (10/07 ~ 10/08, 대구 EXCO) |
| 권호 | 35권 2호 |
| 발표분야 | 고분자 구조 및 물성 |
| 제목 | 대면적 블록공중합체 나노리소그라피의 광학물질 응용 |
| 초록 | 최근 블록공중합체 나노리소그라피를 기존 반도체 공정과 융합하여 대면적에 적용할 수 있는 새로운 나노패턴기술을 개발하기 위해 많은 연구들이 진행되어 왔다. 본 발표에서는 반도체 ArF 리소그라피, I-line 리소그라피등과 블록공중합체 분자조립을 융합하여 대면적에서 잘 정렬된 금속 나노패턴을 제작하고 이를 광학물질에 응용한 다양한 접근법들을 소개할 것이다. |
| 저자 | 김상욱 |
| 소속 | KAIST |
| 키워드 | 블록공중합체; 나노리소그라피 |
