학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2008년 봄 (05/22 ~ 05/23, 상록리조트) |
권호 | 14권 1호 |
발표분야 | 반도체재료 |
제목 | SnO2 나노선을 이용한 가스 센서 특성 |
초록 | 비표면적이 크고 결정성이 우수한 나노구조체를 이용한 가스 센서의 연구가 활발히 진행되고 있다. 대표적인 가스감응 물질인 SnO2는 열증착, CVD, 화학용액법의 다양한 방법을 통해 나노선, 나노튜브, 나노벨트 등의 나노구조체 형태로 합성되었다. 현재까지 나노구조체를 이용한 가스센서는 제작공정이 복잡하고 특성의 재현성 확보가 어렵다는 문제점이 있다. 본 연구는 SnO2 나노선 슬러리 용액을 히터가 포함된 알루미나 전극 구조체 위에 적하, 건조, 열처리하는 단순한 공정으로 균일하고 밀도 높은 SnO2 나노선 네트워크 센서를 제작했다. SnO2 나노선 가스 센서는 히터 전력 400mW (약 400 oC)에서 C2H5OH 200 ppm에 대해 반응 속도는 1초, 감도( S = Rg / Ra) 200 을 나타내었다. 가스의 감도는 이외에 NO2, CO, NH3, C3H8등의 가스에 대한 반응 특성에 대하여 연구하였다. |
저자 | 김선중, 황인성, 김윤성, 이충용, 주병권, 이종흔 |
소속 | 고려대 |
키워드 | SnO2 nanowires; gas sensor |