화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, BEXCO(부산))
권호 14권 1호
발표분야 무기재료
제목 RTP를 통한 SnO2 powder의 결정화 특성
초록 Tin dioxide(SnO2)는 중요한 반도체 재료이다. 가스센서, varistors,heat mirror등 광범위하게 이용되어진다.SnO2를 제조 방법으로 액상법 중 균일침전법은 주석산 침전물을 얻은 후 이것을 열분해 시켜 SnO2분말을 얻는다. 본 연구에서는 SnCl4수용액으로부터Urea수용액을 침전제로 쓰는 균일침전법에 의해 주석산 침전을 제조하여 열처리함으로서 SnO2분말을 얻었다. 열처리시 열처리 온도의 증가에 따라 흡착수 및 구조수가 방출되며, 시간이 길어지면입자들이 뭉치게 되는 경향이 있다. 열처리 시간을 줄이기 위해RTP(Rapid Thermal Process)를 이용해 열처리 시간을 줄여서 주석산 침전물이 SnO2분말로 결정화되는 특성을 연구하였다.
저자 손향호, 이원규
소속 강원대
키워드 SnO2; RTP; homogneous precipitation
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