학회 | 한국공업화학회 |
학술대회 | 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, BEXCO(부산)) |
권호 | 14권 1호 |
발표분야 | 무기재료 |
제목 | RTP를 통한 SnO2 powder의 결정화 특성 |
초록 | Tin dioxide(SnO2)는 중요한 반도체 재료이다. 가스센서, varistors,heat mirror등 광범위하게 이용되어진다.SnO2를 제조 방법으로 액상법 중 균일침전법은 주석산 침전물을 얻은 후 이것을 열분해 시켜 SnO2분말을 얻는다. 본 연구에서는 SnCl4수용액으로부터Urea수용액을 침전제로 쓰는 균일침전법에 의해 주석산 침전을 제조하여 열처리함으로서 SnO2분말을 얻었다. 열처리시 열처리 온도의 증가에 따라 흡착수 및 구조수가 방출되며, 시간이 길어지면입자들이 뭉치게 되는 경향이 있다. 열처리 시간을 줄이기 위해RTP(Rapid Thermal Process)를 이용해 열처리 시간을 줄여서 주석산 침전물이 SnO2분말로 결정화되는 특성을 연구하였다. |
저자 | 손향호, 이원규 |
소속 | 강원대 |
키워드 | SnO2; RTP; homogneous precipitation |